TESCAN представляет первый FIB-FESEM с плазменным источником ионов

03 октября – TESCAN представляет FERA3 XMH — сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки)

Брно (Чешская Республика) - 03 октября – APA OTS - TESCAN, один из ведущих мировых производителей сканирующих электронных микроскопов и многофункциональных систем со сфокусированным ионным пучком, представляет FERA3 XMH — сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки), интегрированный с плазменным источником ионов, создающим сфокусированный ионный пучок. Система была разработана совместно с французской компанией Orsay Physics.

В дополнение к электронной и ионной колоннам, FERA3 Plasma FIB-FESEM допускает оснащение системой инжектирования газов, нано-манипуляторами, а также широким набором детекторов, включая SE-детектор, BSE-детектор, SI- детектор (вторичных ионов), катодолюминесцентный детектор, EDX и EBSD микроанализаторы, и др.

Использование в FERA3 ксенонового плазменного источника для создания сфокусированного ионного пучка позволяет удовлетворить одновременно как требованиям к высокому разрешению FIB (для получения изображений, для прицельного распыления поверхности, для полировки), так и потребностям в высоких токах пучка ионов, необходимых для того, чтобы удалять материал со сверхбыстрыми скоростями. Разрешение плазменного источника ионов ˂ 100 нм, максимальный ток ионов ксенона > 1 мкА.

По сравнению с существующими сегодня FIB-технологиями на основе жидкометаллического источника ионов галлия, плазменный источник ионов (PFIB) более чем в 30 раз увеличивает скорость удаления такого материала, как кремний. По этой причине PFIB предназначен, прежде всего, для приложений, в которых требуется распылять большой объем материала, например, при компоновке полупроводниковых кристаллов там, где используется технология TSV.

Первая система будет установлена в этом году в канадском инновационном ресурсном центре (MiQro Innovation Collaborative Centre, C2MI). Система будет использоваться для контроля компоновки интегральных схем.

Многофункциональная система FERA 3 FIB-SEM уникальна тем, что объединяет электронную колонну с ионным источником данного типа, что позволяет оператору использовать все преимущества электронного зонда для анализа и определения характеристик материалов. В основном, системы этого типа будут применяться для работы с электрическими схемами, в 3D-метрологии, при анализе дефектов и отказов.

TESCAN, один из ведущих поставщиков наукоёмкой инструментальной базы, хорошо известен своими инновациями и готовностью работать с исследователями, предлагая решения в ответ на специфические запросы, возникающие у них. Компания TESCAN, основанная в 1991 году, на сегодняшний день является ISO-сертифицированной компанией с давними традициями в создании качественного оборудования. По всему миру работают свыше 1000 электронных микроскопов и многофункциональных систем со сфокусированным ионным пучком, произведенных на TESCAN.

www.tescan.com

Инновационный ресурсный центр MiQro Innovation Collaborative Centre (C2MI) есть результат сотрудничества между Université de Sherbrooke, Teledyne DALSA Inc. и IBM Canada Ltd, Bromont Plant. C2MI станет одним из международных первопроходцев в задачах компоновки следующего поколения микросхем и разработки корпусов для будущих поколений микроэлектромеханических систем (MEMS). Симбиоз двух этих компаний будет способствовать привлечению других индустриальных и академических партнеров, см. www.c2mi.ca.

Контакты:

Martin Zadražil, директор отдела TESCAN Brno

TESCAN a.s.

Tel: +420 547 130 461

E-mail: Info@tescan.cz

www.tescan.com